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简述振镜扫描和掩模激光标刻系统的特点,对比了二者的优缺点.提出了掩模激光标刻系统中图形模板的制作新方案及扫描方式,并对其进行了探讨,在综合比较的基础上给出了结论.
掩模激光标刻系统的改进
【摘 要】
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简述振镜扫描和掩模激光标刻系统的特点,对比了二者的优缺点.提出了掩模激光标刻系统中图形模板的制作新方案及扫描方式,并对其进行了探讨,在综合比较的基础上给出了结论.
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2002年6期
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