利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanglin0824
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本文综述了脆性材料的塑性转变理论、脆性材料塑性加工研究进展情况,进行了环形金刚石线锯丝切割硅晶体的实验。锯丝单方向连续运动,因而可以提高切割速度,锯丝运动速度为10m/s和21m/s两种。工件进给速度分别为8.4mm/min,12.6mm/min和20mm/min等三种。用扫描电镜检测切割表面并与往复式线锯切割表面进行比较。实验结果及理论分析表明:锯丝上单个磨粒切削深度极小,切割表面平整、无崩碎现象,表面粗糙度值达1.4μm~3μm,接近粗磨加工后的表面。进给速度增大,表面粗糙度有所增大;切削速度提高,表
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