【摘 要】
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IC垂直化能在不采用更小工艺尺度条件下,实现更高密度的电路。最近一篇文章(参考文献1)提出了有关3DIC的三个问题:什么是3DIC,它们是否实际可行,以及它们有什么不同?这些问题
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IC垂直化能在不采用更小工艺尺度条件下,实现更高密度的电路。最近一篇文章(参考文献1)提出了有关3DIC的三个问题:什么是3DIC,它们是否实际可行,以及它们有什么不同?这些问题的答案可能多种多样,但半导
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