论文部分内容阅读
为了满足应用对控制系统高速高精度的要求，本文将原子力显微镜作为控制对象，主要研究基于DSP—FPGA控制系统设计中的关键技术问题。包括各模块的功能划分、模块间通讯模式设计并以单行扫描为例进行编程说明。随后将PID算法嵌入FPGA，对大范围快速原子力显微镜的单点测试做闭环反馈控制。实验结果显示，与以PCI04为核心的控制系统相比，基于DSP—FPGA的控制系统大大提高了大范围快速原子力显微镜的扫描速度和控制精度。