【摘 要】
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利用射频磁控溅射工艺在AZ31镁合金表面溅射了TiO2薄膜,并对薄膜的特性进行了研究。扫描电镜观察显示制备态的TiO2薄膜结构致密,表面无缺陷。对薄膜经过200℃保温30分钟、常
【机 构】
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上海第二工业大学城市建设与环境工程学院,中国科学院嘉兴轻合金工程中心,
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利用射频磁控溅射工艺在AZ31镁合金表面溅射了TiO2薄膜,并对薄膜的特性进行了研究。扫描电镜观察显示制备态的TiO2薄膜结构致密,表面无缺陷。对薄膜经过200℃保温30分钟、常温冷却或者85℃保持一小时后放到常温保持15分钟,连续实施4次该操作的两种热处理工艺后,观察到薄膜表面致密结构没有发生变化,表面也没有缺陷生成。这表明了薄膜具有热稳定性。薄膜表面硬度特性研究表明薄膜表面的显微硬度为1.51 GPa。最后,研究了表面镀有TiO2薄膜的AZ31镁合金在模拟人体体液环境下的腐蚀（降解）特性。结果表明,在7天腐蚀过程中,AZ31镁合金基底没有被腐蚀,因此TiO2薄膜对AZ31镁合金基底具有很好的保护作用。
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