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本文以TeknaTIU-60型感应等离子制粉系统为例，介绍了感应等离子制粉原理及制粉工艺，叙述了感应等离子制粉设备的技术指标以及制粉系统的各组成部分。利用Tekna感应等离子制粉设备，分别制备了钽粉、铝粉、氧化铜粉、硼粉、碳化硼粉，最后给出它们的制备结果。结果表明，该方法制备的纳米粉末粒径分布均匀，在30～130nm之间。