【摘 要】
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聚二甲基硅氧烷（PDMS）是一种应用广泛的柔性材料。本文在PDMS表面制备直角微沟槽，分析了直角微沟槽的形貌。结合PDMS的柔性特点，开展预应力下纳秒激光制备PDMS表面直角微沟槽实验。结果表明，微沟槽两侧微裂纹随着激光扫描速度增大（100～600 mm/s）开始出现随后逐渐变小，微沟槽几何形貌随扫描速度发生改变，其深度最大值为43.14 μm、最小值为8.41 μm，其宽度最大值为111.41
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（500180089）； 广州市基础与应用研究项目（202102020447）； “攀登计划”专项基金（pdjh2021b0155）；
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聚二甲基硅氧烷（PDMS）是一种应用广泛的柔性材料。本文在PDMS表面制备直角微沟槽，分析了直角微沟槽的形貌。结合PDMS的柔性特点，开展预应力下纳秒激光制备PDMS表面直角微沟槽实验。结果表明，微沟槽两侧微裂纹随着激光扫描速度增大（100～600 mm/s）开始出现随后逐渐变小，微沟槽几何形貌随扫描速度发生改变，其深度最大值为43.14 μm、最小值为8.41 μm，其宽度最大值为111.41 μm、最小值为16.18 μm，且直角微沟槽内外侧形貌存在差异；调整预应力角度可以调控微沟槽两侧微裂纹的走向、微沟槽的几何形貌和扫描路径的偏移。应力辅助是一种调控表面形貌，辅助PDMS表面微纳加工实现功能化的简便方法。
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