半导体快速热处理设备推广应用

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半导体快速热处理设备推广应用1995年6月14日国家科委科技成果司在清华大学召开了“RHT系列半导体快速热处理设备与应用技术现场推广会”。对RHT设备进行了现场使用表演,总结交流了应用成果,以便进一步提高我国半导体快速处理技术水平,促进RHT设备与技... Promote the application of semiconductor rapid heat treatment equipment June 14, 1995 National Science and Technology Achievement Division held at Tsinghua University, “RHT series of semiconductor rapid heat treatment equipment and application technology on-site promotion.” RHT equipment on-site use performance, summarize the exchange of application results, in order to further improve our semiconductor rapid processing technology to promote RHT equipment and technology.
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