基于复合调制的静电电位非接触测量

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针对传统静电电位测量方法的缺点提出了基于复合调制的测量方法。采用电压发生器产生辅助交直流合成电压施加到静电体接地端,辅助交流电压的频率与振动电极的振动频率不相等。通过锁相检测流过振动电极且频率为电极振动频率的电流分量幅值及其随辅助直流电压变化的方向,检测频率为振动频率与辅助交流电压频率之和的电流分量幅值,计算得到静电电位的大小及其极性。理论和实验结果表明,所提出的方法只需要较低的辅助调制电压就可以实现静电电位的精确测量和极性判别,并且测量结果与电极的尺寸、安装参数、振幅等误差以及测量回路分布电容无关。
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