【摘 要】
：
通过热场实验、拉晶参数实验与电阻率控制实验，研究了重掺砷＜１１１＞硅单晶的位制工艺，制备出无位错的Φ１００ｍｍ单晶，成品率达３３．８５％。还探讨了简便、高效的砷毒防护方法。
Through the experiments
论文部分内容阅读
通过热场实验、拉晶参数实验与电阻率控制实验，研究了重掺砷＜１１１＞硅单晶的位制工艺，制备出无位错的Φ１００ｍｍ单晶，成品率达３３．８５％。还探讨了简便、高效的砷毒防护方法。
Through the experiments of thermal field, crystal pulling parameters and resistivity control experiments, the fabrication process of the arsenic <111> silicon single crystal with arsenic is studied, and the dislocation-free Φ100mm single crystal is prepared with the yield of 33.85%. Also discusses the simple, efficient arsenic poison protection methods.
其他文献
0前言2009年,是中水珠江设计公司不平凡的一年,也是丰收的一年。这一年,公司在珠江委及董事会的正确领导下,公司高管层按照《公司战略发展与管理规划纲要》的精神,坚持科学发
望西南柳桂,旧貌新颜,岁月烟云。席卷邪恶尽,唤繁花似锦,遍地缤纷。喜迎戏剧兴起,思忆舞台痕。抗日路崎岖,民间剧展,党铸灵魂。
Look southwest Liu Gui, the old appearan
日本林经界当今研究的课题是什么?京都大学教授半田良一先生从政策研究的角度出发,把当今日本林经界面临的课题归结为三大类。第一,资源政策问题——从确保木材供应与保全国
十八大党章中指出:党的基层组织是党在社会基层组织中的战斗堡垒,是党的全部工作和战斗力的基础。要保持党的纯洁性和先进性,做好基础工作尤为重要。作为基层党组织负责人的
着重研究了金属ＰＴＣ陶瓷复合材料阻温特性与烧结工艺的关系，并对相应的物理机理进行了讨论。同时比较详尽地讨论了金属陶瓷复合材料的制备方法。
The relationship between tempe
本文报导了层压塑料袋在种子贮藏中的使用。种子在5°～35℃四种温度下分别于真空、空气、二氧化碳气体及氮气密封塑料袋中贮藏一年,无论哪种处理温度,氮气贮藏的种子发芽率和
由国家防汛抗旱总指挥部办公室、中国地球物理学会勘探地球物理专业委员会、水利电力物探科技信息网、黄委会勘测规划设计研究院共同主办的“全国堤坝隐患及渗漏探测学术研
2007年3月26日,中国水利水电勘测设计协会第八届第六次常务理事会在广西桂林召开,协会理事长、水规总院副院长兼总工程师刘志明,协会副理事长、中水珠江设计公司董事长兼总经
肿瘤坏死因子alpha的拮抗剂是治疗多种炎症性自身免疫疾病的首选,但抗体类拮抗物因副作用明显而使用受限,尤其是机体内抗抗体的产生,严重影响治疗效果和药物代谢。而肽类物除
1999年10月8日,飞来峡水利枢纽建成并开始试运行。该工程位于北江干流中游,控制流域面积3.4万km~2,水库总库容19亿m~3,总投资53亿元,是建国以来广东省建设规模最大的综合性