【摘 要】
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对封装20μm细直径铜丝球键合过程中FAB成形工艺参数进行了优化.结果表明,烧球参数中的烧球时间和烧球电流是影响铜球尺寸的主要因素.随着烧球参数的增加,铜球直径也相应增加
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
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对封装20μm细直径铜丝球键合过程中FAB成形工艺参数进行了优化.结果表明,烧球参数中的烧球时间和烧球电流是影响铜球尺寸的主要因素.随着烧球参数的增加,铜球直径也相应增加.保护气体流速对FAB形球尺寸的影响不明显,但直接影响到铜球防氧化效果以及成形的质量,保护气体流速达到一定值之后才能形成表面光滑无氧化的铜球.形成的铜球主要由几个大尺寸柱状晶粒组成,同一晶粒内存在两个不同的区域,分析认为铜球晶粒生长过程分为两个阶段,初期以树枝状方式生长以及后期以胞状晶的形式进行.
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