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本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。
MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展
【摘 要】
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本文概述了MEMS技术及它与过程自动化发展的关系。
【机 构】
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中国仪器仪表行业协会现场总线专业委员会
【出 处】
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可编程控制器与工厂自动化
【发表日期】
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2010年5期
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