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建立了真空阴极弧离子镀圆形平面靶侧面引弧时，阴极斑点的受力模型，分析了影响电弧运动的因素，改进了圆形平面靶侧面形状，大大提高了石墨靶阴极斑点从侧面到靶平面的过渡速度。
真空阴极弧离子镀阴极斑点的移动研究
【摘 要】
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建立了真空阴极弧离子镀圆形平面靶侧面引弧时，阴极斑点的受力模型，分析了影响电弧运动的因素，改进了圆形平面靶侧面形状，大大提高了石墨靶阴极斑点从侧面到靶平面的过渡速度。
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料学院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年6期
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