【摘 要】
：
真空辐射加热下基片表面温度分布的均匀性是薄膜制备中的关键问题之一。采用数值计算和比色红外测温两种方法，研究了作者自行研制的真空辐射加热器（IMCAS-VRH）的性能。利用IMCAS
【机 构】
：
中国科学院力学研究所高温气体动力学重点实验室
【基金项目】
：
中国科学院“十五”装备项目;国家自然科学基金项目(10205024和10502051)资助．
论文部分内容阅读
真空辐射加热下基片表面温度分布的均匀性是薄膜制备中的关键问题之一。采用数值计算和比色红外测温两种方法，研究了作者自行研制的真空辐射加热器（IMCAS-VRH）的性能。利用IMCAS-VRH加热直径6in的单晶硅基片,当电功率为3860W时，基片表面平均温度为1093K,整个基片上的温度变化的测量值约为6 K。基片表面温度分布的计算结果与测量数据符合得很好，进一步的计算分析表明钼丝对辐射的遮挡效应、隔热屏和基片热传导等对基片温度分布均匀性有重要影响。
其他文献
为了解南美蟛蜞菊[Wedelia trilobata （L.） Hitchc.]的化学成分,从其全株中分离得到9 个酚酸类化合物.经光谱分析,分别鉴定为6-乙酰基-7-羟基-2,3-二甲基色原酮 （1）、七叶内酯 （2）
文章在超声处理污泥实验中,研究了不同影响因素（温度、控温与否、作用时间、超声功率、超声频率）对污泥滤液COD、NH3N-、TP及浊度的影响,探索超声破解污泥的基本规律,为超声破
“在延安文艺座谈会上的讲话”作为东方马克思主义美学的经典之作，具有鲜明的时代特征与文论史意义。纪念这一讲话，要站在具体的时代语境下，结合文艺的发展状况，解读文艺为人民服
十七、十八世纪古典自然法学思想风靡于西欧北美各主要资本主义国家 ,而十七世纪恰逢中国的明清之际 ,此时在东方的中国亦出现了一股带有民主启蒙色彩的反封建反专制的激进思
随着脑卒中诊断与治疗水平的提高，后遗症发生率也随之增高，致残率达86．5％，15．0％病人日常生活不能自理。近年来，国内外学者主张尽早进行康复训练，护士在康复过程中的地位显得越来越重要
<正>本文言及的朦胧诗限指70年代末80年代初产生于中国大陆的朦胧诗,现代派泛指的是西方现代派。用叶维廉的话说,中西文化里有个"模子"问题。"模子"用于比较文学中却又要涉及
21世纪以来,我国的科技水平和经济水平都有着迅猛的发展,而工业作为经济和科技发展的主导产业起着不可替代的作用。工业的发展必然会带动电气工程及自动化的发展。本文首先对
科学技术已经在诸多领域得到了应用,并对我国的经济发展起到了重要的推动作用。科技企业孵化器是培育以及扶持高新技术中小企业的一个高端科技服务机构,在这一领域集中的一批
随着我国经济的发展,传统农业已经难以满足现代建设的需求.农业发展模式向有机农业转变是未来 的发展方向,也是提高农业产品市场竞争力的有效手段.在有机农业种植中,土壤培肥
以废次烟草为原料,用盐酸溶液对800℃焦进行酸洗,然后采用低温等离子体对酸洗后的焦进行改性,研究低温等离子体改性时间对焦孔隙结构和表面化学特性的影响,以及对烟气中Hg0的