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近日从中国科学院重庆绿色智能技术研究院获悉．该院成功研制了用于微电子光刻的“2—12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、
重庆成功研制液晶面板和触摸屏等光刻装备
【摘 要】
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近日从中国科学院重庆绿色智能技术研究院获悉．该院成功研制了用于微电子光刻的“2—12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2017年3期
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