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真空电子功率器件用AlN陶瓷输出窗
真空电子功率器件用AlN陶瓷输出窗
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qaz_wsx_123
【摘 要】
:
本文叙述了陶瓷在功率电子器件输出窗组件中具有特殊地位和作用。当今,氮化铝陶瓷具有高热导率,低的介质损耗和非常低的次级电子发射系数,是一种理想的输出窗片材料。
【作 者】
:
高陇桥
何衡平
【机 构】
:
北京真空电子技术研究所,国家电子陶瓷产品质量监督检验中心
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2017年5期
【关键词】
:
氮化铝陶瓷
次级电子发射
介质损耗
Aluminum nitride ceramics
Secondary electron emission
Dielec
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本文叙述了陶瓷在功率电子器件输出窗组件中具有特殊地位和作用。当今,氮化铝陶瓷具有高热导率,低的介质损耗和非常低的次级电子发射系数,是一种理想的输出窗片材料。
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