用于控制清洗和刻蚀溶液的实时监控技术

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现代湿法工艺流程需要对稀释程度很高的多组分溶液进行实时监控。本文将介绍NIR分析设备的功能。通过该方法可以获得超低的杂讯级别,同时从二极管阵列光谱仪上得到多元信号,这样可以实现对温度和气泡引起干扰的有效补偿,还可以选择性地决定多种组分的含量,可监测范围可宽达ppm量级到100%。 Modern wet processes require real-time monitoring of multi-component solutions that are highly diluted. This article describes the capabilities of the NIR analysis device. The ultra-low noise level achieved with this method and the simultaneous availability of multiple signals from a diode array spectrometer allows for effective compensation of temperature and bubble-induced interferences as well as the ability to selectively determine the content of multiple components that can be monitored The range can be as wide as ppm to 100%.
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