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采用真空阴极弧离子镀的方法，以乙炔和氢气分别作工作介质，以氩气为稀释气体，研究了类金刚石碳（ＤＬＣ）膜的制备工艺及其结构和硬度。喇曼光谱分析表明，所得膜为典型的ＤＬＣ膜，表现为一个波数在１３００￣１７００ｃｍ＾－１的宽峰，工艺不同，喇曼光谱曲线的形状也略有变化。ＳＥＭ分别表明所得ＤＬＣ膜结构致密光滑。纳米探头硬度表明，ＤＬＣ膜表面硬度均高于１０ＧＰａ。