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利用多弧离子镀技术在3种常用尺寸的微型钻头和棒料表面制备了不同厚度的TiAlN基涂层.通过控制涂层沉积时间,得到涂层厚度为2.1±0.3～8.6±0.3 μm.研究了涂层厚度对微型钻头和棒料的刚度以及孔位精度的影响.结果 表明:制备的不同厚度涂层结合力均达到最优等级HF1-HF2.经过压弯测试,3种尺寸的微型钻头和棒料的压弯变形量随着涂层厚度的增加逐渐减小,对应的刚度逐渐增加.在φ0.15～3.0 mm微型钻头表面制备厚度～6.37 μm的涂层,涂层微型钻头刚度比未涂层时增加了25.7％;尺寸为φ0.20～4.5mm、φ0.25～5.5mm的微型钻头表面涂层厚度增加到8.6±0.3 μm时,刚度分别增加了23.1％和15.6％.经过钻孔测试,涂层微型钻头的孔位精度Cpk值高于未涂层微型钻头.将涂层微型钻头磨尖处理,孔位精度进一步提升.