【摘 要】
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制作压花钢辊比较常用的加工手段是光刻,如果在大型钢辊表面上加工由线条精细的微小花纹紧密排列组成的大型图案时,应用光刻技术就遇到了如下问题:1.花纹细小,如显影后抗蚀
【机 构】
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大连理工大学,大连理工大学,大连理工大学
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制作压花钢辊比较常用的加工手段是光刻,如果在大型钢辊表面上加工由线条精细的微小花纹紧密排列组成的大型图案时,应用光刻技术就遇到了如下问题:1.花纹细小,如显影后抗蚀胶膜形成的微小图案出现缺陷时,无法进行人工修补;2.蚀刻花纹面
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