【摘 要】
：
本文论述了不使用粘附剂进行光刻某些材料的新方法——正胶低温显影技术.应用低温显影技术可以相对地增加正胶的粘附性,并刻出了1-2μm的SiO_2、Si_3N_4细线条.文内还给出了
论文部分内容阅读
本文论述了不使用粘附剂进行光刻某些材料的新方法——正胶低温显影技术.应用低温显影技术可以相对地增加正胶的粘附性,并刻出了1-2μm的SiO_2、Si_3N_4细线条.文内还给出了一些材料的光刻条件及结果.
This paper discusses a new method of photolithography without using an adhesive agent - the development of low-temperature positive-phase technology.Using low-temperature development technology can be relatively increased positive adhesion, and engraved 1-2μm SiO_2, Si_3N_4 thin lines.This paper also gives the lithography conditions and results of some materials.
其他文献
在今年9月4日于北京昆仑饭店举行的第六届中国安全生产论坛上,一位外国朋友说,20年前他第一次听说中国也搞安全生产,觉得不可思议。一个拥有10几亿人口、廉价劳动力用之不竭
首轮演出一个月之内票房(包括预售)超过800万元,这在人艺演出历史上没有过。 国庆献礼大戏《窝头会馆》集编剧刘恒、导演林兆华及人艺最中坚演员、舞美、灯光打造而成。 舉全团之力倾心而为的作品中,不难看出新领导张和平和人艺人“复兴”人艺的决心和野心。 毋庸置疑,《窝头会馆》完成了票房的初步胜利,也给30年来新戏乏力的人艺注入了令人亢奋的新血, 可它要成为可追随《茶馆》的经典,显然还需多处打磨;
今天吃完晚飯我去看漫画书，看着看着我就大笑起来，爸爸听见了我的笑声，就问：“看什么书那么好笑？”我说：“是漫画书。”爸爸说：“能读一下给我听吗？”“好嘞！”我爽快地答应了。 漫画书里，一个老师把“大堂之”写成了“太堂之”，王居同学发现了，就说：“老师您写错字了，应该是‘大’堂之吧？”老师看了看，说：“‘太’的意思是至高无上，比如太上皇，是最厉害的意思，明白了吗？”说完，老师心想：千万不能让他们知
2003年春爆发的非典疫情,给我国社会带来了巨大的损失和影响。在我国政府的领导下,在比较短的时间内就控制住了疫情,取得了抗击“非典”战役的伟大胜利。然而危机过后,人们不
【原题呈现】《爸爸逗我玩》这段文字是大作家钱锺书的女儿在身患绝症后躺在病床上写的。也许同学们还不太了解钱锺书,但透过这段文字,我们能感受到这位大作家的赤子之心,感
随着全球化的不断推进,科学技术的不断发展,多媒体网络技术也在不断更新,随着多媒体网络技术在实际教学中的运用,其优越性也逐渐显露出来。在多媒体的使用过程中,很明显的一
如今博客遍地开花,舞人怎能袖手旁观?纵观舞人博客,感慨舞蹈界藏龙卧虎,很多都是深藏不露的高手,“武功”路数有的如金风细雨楼,有的似五虎断门刀,有的若黯然销魂掌,正所谓“
本文讨论了硼在硅中的扩散运动对氧化层错生长和收缩动力学的影响.一方面,硼的扩散运动降低氧化层错的激活能,使层错的生长速度增加;另一方面,却又抑制层错的产生和促使层错
小儿呕吐具有不定性,易反复,而常规的小儿止吐药多潘立酮、甲氧氯普胺等又极易使儿童中毒。我科于2003年10月至2006年10月对儿科住院患者中无明显脑部疾患及外科指征的住院儿
本文介绍结型场效应管的噪声源及其表示方法,利用y导纳参数模型得出共源、共栅及共漏场效应管低、中、高频段噪声特性的实用计算公式,并对三种配置场效应管的噪声特性进行了