用于海洋水色扫描仪的硅光电探测器组件

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xliang677
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采用微型滤光片与硅探测器直接耦合的方式,研制了5×4元和3×4元两种多波段硅探测器组件。组件可探测412-865nm八个波段,带宽分别为20和40nm。由于采用了短波增强,提高近红外波段响应率和响应速度,降低暗电流,减小串音及提高可靠性等一系列措施,使研制的组件达到了很高的性能:412nm的响应率为0.14A/W,暗电流为5×10^-10A,结电容小于20pF,串音小于7%。满足了海洋水色扫描仪的使用要求。
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