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介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。
微电子机械系统的发展及未来
【摘 要】
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介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2000年1期
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