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真空蒸发镀膜技术已经应用了很多年,随着激光技术的发展,人们对激光薄膜尤其是高功率激光薄膜的质量要求越来越高,离子辅助沉积薄膜技术已被广泛用来作为一种改善光学薄膜特性的工艺手段.本文简单地介绍了这项技术的原理及国内外研究现状;总结了该技术的优、缺点;客观评价了该技术的应用前景;对该技术今后的研究方向提出了建议.