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针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面 "截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据.
微电机粗糙表面粘附仿真分析
【摘 要】
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针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面 "截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年10期
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