【摘 要】
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硅芯作为多晶硅生产过程中还原炉沉积生长所用的载体,目前主要有硅芯炉拉制圆硅芯和线切割方硅芯两种生产方式,通过对圆硅芯和方硅芯多方面进行对比分析,因为圆硅芯在硅芯基料熔化凝固的拉制过程中特别容易受到一些杂质污染,所以重点对原生多晶硅棒切割方硅芯进行研究,方硅芯是由原生多晶硅棒直接切割而成,减少了外界杂质的污染,有利于减少硅芯杂质引入,大幅提升电子级多晶硅产品的质量。
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硅芯作为多晶硅生产过程中还原炉沉积生长所用的载体,目前主要有硅芯炉拉制圆硅芯和线切割方硅芯两种生产方式,通过对圆硅芯和方硅芯多方面进行对比分析,因为圆硅芯在硅芯基料熔化凝固的拉制过程中特别容易受到一些杂质污染,所以重点对原生多晶硅棒切割方硅芯进行研究,方硅芯是由原生多晶硅棒直接切割而成,减少了外界杂质的污染,有利于减少硅芯杂质引入,大幅提升电子级多晶硅产品的质量。
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