【摘 要】
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采用自行发明的多热源合成SiC技术,研究了SiC合成炉逸出气体的成分、温度、压强、流量等性能参数在一定的供电制度、保温料厚度条件下的变化规律.研究结果表明,气体的主要成
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采用自行发明的多热源合成SiC技术,研究了SiC合成炉逸出气体的成分、温度、压强、流量等性能参数在一定的供电制度、保温料厚度条件下的变化规律.研究结果表明,气体的主要成分为CO,其浓度高达92%;合成炉内空间位置越高,气体温度值越小;保温料厚度值为0.5 cm的条件下,气体温度最大值为249℃,温度梯度高达139℃/m;炉内不同部位气体的温度增长速率差异较大;压强与流量之间满足同步单调增减规律.
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