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涂层表面粗糙度值较小,用于表征涂层表面形貌特征时受仪器分辨率以及采样区域的影响较大。本研究利用AE-100白光干涉仪分别采集四组实验中TiN涂层以及钌铱涂层的表面图像、三维粗糙度参数Sa及表面三维形貌。基于分形理论采用与尺度无关的分形维数表征涂层表面形貌特征,采用盒子维方法利用MATLAB编程计算了涂层表面的三维分形维数。实验结果显示,与分形维数D相比,粗糙度Sa的变化较大。因此,体现了分形维数在表征涂层表面三维形貌方面的优势。