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为弥补传统滚珠丝杠式两维驱动xy精密定位平台在速度和加速度提高上存在的不足，提出一种基于直线音圈电机直接驱动，采用新型弹性解耦机构的高速高精度叫定位平台。系统探讨了该装置的动态设计方法，在此基础上，加工生产出xy精密定位平台样机一套。通过对样机进行性能测试，结果表明，xy定位平台具有很高的速度、加速度和精度，能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求。