不同底层对CoFeB/Pt多层膜垂直磁各向异性的影响研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianfong

【摘要】

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采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了以Ru,Cu,Pt和Ta为底层的Co Fe B/Pt多层膜样品,研究了各底层对Co Fe B/Pt多层膜的反常霍尔效应的影响。发现Ru和Cu作为Co Fe B/Pt多层膜

【作者】

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程鹏王洪信俱海浪李宝河

【机构】

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北京工商大学理学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2016年12期

【关键词】

：

CoFeB/Pt多层膜反常霍尔效应垂直磁各向异性底层热稳定性磁隧道结 CoFeB/Pt multilayers anomalous Hall effe

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采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了以Ru,Cu,Pt和Ta为底层的Co Fe B/Pt多层膜样品,研究了各底层对Co Fe B/Pt多层膜的反常霍尔效应的影响。发现Ru和Cu作为Co Fe B/Pt多层膜的底层在保持样品的垂直磁各向异性方面的作用远不如Pt和Ta底层,而且样品的霍尔电阻比Pt和Ta做底层要小。Ta作为Co Fe B/Pt多层膜的底层与Pt作为底层相比能够更好地和多层膜晶格匹配,并且在400℃退火后反常霍尔效应得到增强。霍尔电阻提高近80%,矫顽力达到了5.7×10^3 A

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