【摘 要】
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提出了一种基于微波谐振原理的高精度位移传感器。位移传感器由内导体、外导体、第一反射点、第二反射点和谐振腔构成。两个高反射点构成谐振腔，位移变化改变了谐振腔的腔长，进而改变了谐振波长和谐振频率，通过测量谐振波长大小即可确定位移。此外，弹簧和顶珠结构使得位移在缓慢变化过程中，传感器可达到全量程没有跳数。实验结果表明：在30 mm量程范围内，传感器分辨率1μm,谐振波长变化量与位移的比值为-1.928
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提出了一种基于微波谐振原理的高精度位移传感器。位移传感器由内导体、外导体、第一反射点、第二反射点和谐振腔构成。两个高反射点构成谐振腔，位移变化改变了谐振腔的腔长，进而改变了谐振波长和谐振频率，通过测量谐振波长大小即可确定位移。此外，弹簧和顶珠结构使得位移在缓慢变化过程中，传感器可达到全量程没有跳数。实验结果表明：在30 mm量程范围内，传感器分辨率1μm,谐振波长变化量与位移的比值为-1.928 7。同时研究了位移传感器的温度影响。传感器具有机械鲁棒性强、低温度依赖性、低成本、高精度等优点。
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