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提出一种不同标样确定基体薄涂层厚度并同时得到薄膜成分的新方法。通过理论计算，得 不同涂层厚度下，涂层与基体的特征Ｘ射线相对强度比Ｉｃ／Ｉｓ并作出理论曲线；然后用能谱技术测出Ｉｃ／Ｉｓ，可由理论曲线得出相应的涂层厚度。经实验证明该方法可行
用能谱技术确定基体薄涂层的厚度
【摘 要】
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提出一种不同标样确定基体薄涂层厚度并同时得到薄膜成分的新方法。通过理论计算，得 不同涂层厚度下，涂层与基体的特征Ｘ射线相对强度比Ｉｃ／Ｉｓ并作出理论曲线；然后用能谱技术测出Ｉｃ／Ｉｓ，可由理
【机 构】
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广州师范学院物理系,清华大学机械工程系
【出 处】
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理化检验：物理分册
【发表日期】
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1999年7期
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