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讨论了外延片的外延层电阻率、衬底电阻数、探针接触电阻、外延层纵向电阻与夹层电压之间的关系，推导了一种全新的二探针法测量外延夹层电压的数学公式，从而为计算外延片夹层电压提供了理论依据。
外延片夹层电压数学模型推导
【摘 要】
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讨论了外延片的外延层电阻率、衬底电阻数、探针接触电阻、外延层纵向电阻与夹层电压之间的关系，推导了一种全新的二探针法测量外延夹层电压的数学公式，从而为计算外延片夹层电
【机 构】
：
电子工业部第24研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1996年5期
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