微型真空电子器件和太赫兹辐射源技术进展

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【摘要】

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微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用 .场致发射阵列阴极 (FEA)是最突出的代表 .本文综述了FEA近年来的发展 ,特别给出了我所在FEA研究方面的新进展 .已

【作者】

：

廖复疆

【机构】

：

北京真空电子技术研究所

【出处】

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电子学报

【发表日期】

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2003年09期

【关键词】

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微加工真空微电子太赫兹技术

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微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用 .场致发射阵列阴极 (FEA)是最突出的代表 .本文综述了FEA近年来的发展 ,特别给出了我所在FEA研究方面的新进展 .已经获得 5A/cm2 左右的电流密度 ,为进一步的应用奠定了良好的基础 .国际上正在开展微型真空电子器件研究 ,该项研究将导致微波管体积、重量、成本的降低和工作频率、可靠性的进一步提高 .微型真空电子器件可为太赫兹频域提供 1W的大功率发射源 .

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