【摘 要】
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微型可编程衍射光栅是一种新型MOEMS器件,它的出现使得未来的天文装置具备了新的观测能力。可编程光栅是利用一组能够移出平面的平行带板来实现的,通过施加静态电压驱动带板
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微型可编程衍射光栅是一种新型MOEMS器件,它的出现使得未来的天文装置具备了新的观测能力。可编程光栅是利用一组能够移出平面的平行带板来实现的,通过施加静态电压驱动带板来组成光栅。几条带板便可以满足衍射光的要求;这样,该光栅便可以作为一个ON-OFF开关。将光谱聚集在这样一个装置上,通过设置某一特定波长的ON和OFF状态即可实现光谱的编程。可编程光栅使得可编程光谱仪的设计成为了可能,该类光谱仪主要应用在空间任务,如ESADarwin任务。该任务的主要目的是通过高对比度的干涉术和光谱分析技术来寻找、探索并表征
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