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本文通过在线监测诊断工具，采集测试了低压等离子体射流中CoNiCrAlY飞行粒子速度和温度变化规律，选定电流I、喷涂距离d、主气Q及辅气q四种主要工艺参数作为试验因素，通过正交试验法优化了CoNiCrAlY粉末材料低压等离子喷涂工艺参数。采用光学显微镜、扫描电镜、涂层表面洛氏硬度计等对涂层金相组织、显微硬度、拉伸结合强度等性能进行表征。结果表明，采用优化后工艺参数制备的涂层，显微组织粉末熔化充分，涂层组织致密；涂层结合强度提高11.8%、显微硬度提高17.1%；涂层经1000℃保温0～300 h热稳定后，其室温硬度有降低、高温硬度有升高的趋势，高温硬度明显低于室温硬度。