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直拉单晶炉控制系统是多输入多输出非线性控制系统,其直径和温度控制对单晶生长很关键,以PLC作为控制系统核心部件,采用双模糊控制算法设计直拉单晶炉生长控制系统。调试结果表明：该控制系统成功实现了按预设程序进行的晶体生长控制。
基于模糊控制算法的单晶炉等径控制系统设计
【摘 要】
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直拉单晶炉控制系统是多输入多输出非线性控制系统,其直径和温度控制对单晶生长很关键,以PLC作为控制系统核心部件,采用双模糊控制算法设计直拉单晶炉生长控制系统。调试结果
【机 构】
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国家粮食局无锡科学研究设计院
【出 处】
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武汉工业学院学报
【发表日期】
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2009年4期
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