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实现了一种新型刻蚀深度实时检测系统，整个系统对温度漂移，气体流动与外界振动等环境因素极不敏感，系统测量误差小于０．９８％，实现了在真空环境下刻蚀深度的实时监视与检测，对二元光学做加工具有现实意义。
微加工中一种新型刻蚀深度实时检测系统
【摘 要】
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实现了一种新型刻蚀深度实时检测系统，整个系统对温度漂移，气体流动与外界振动等环境因素极不敏感，系统测量误差小于０．９８％，实现了在真空环境下刻蚀深度的实时监视与检测，对二元光学做加
【机 构】
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华东冶金学院自动化系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1997年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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