JLG激光量块干涉仪的光学方案和光学设计

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一、前言量块是机械加工工业以及长度测量中经常广泛使用的长度基准之一。建立高精度的量块基准,对于发展我国的计量技术和机械加工工业,以及实现四个现代化,都具有很重要的意义。在现代测量技术领域中,光波干涉直接比对测长已广泛地应用。再加上光学设计和光学 I. INTRODUCTION Gauges are one of the most widely used length standards in the machining industry and length measurement. The establishment of a high-precision measuring block benchmark is of great significance for the development of our country’s metering technology and machining industry as well as the realization of the four modernizations. In the field of modern measurement technology, direct interference of lightwaves has been widely used in measuring length. Plus optical design and optics
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