【摘 要】
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由于直线驱动的工作台滑动面存在着接触运动。所以滑动面之间不可避免地存在着非线性摩擦．它严重影响着高精度微进给的特性．通过设计扰动观测器补偿非静态摩擦．用其补偿摩擦对系
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由于直线驱动的工作台滑动面存在着接触运动。所以滑动面之间不可避免地存在着非线性摩擦．它严重影响着高精度微进给的特性．通过设计扰动观测器补偿非静态摩擦．用其补偿摩擦对系统的影响，可以得到精确的速度／位置控制，并且没有由于速度转换时的零速度间隔。直线驱动工作
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