N2／SiH4微波等离子体中的探针测量方法

来源 :等离子体应用技术快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：q355868060

【作者】

：

甘德昌

【出处】

：

等离子体应用技术快报

【发表日期】

：

1995年4期

【关键词】

：

氮氢化硅微波等离子体探针测量

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