【摘 要】
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针对在XPS样品制备过程中可能遇到的污染问题，通过XPS测定表面元素分布情况，研究了几种潜在污染源表面的化学组成，及其在特定条件下的污染转移对样品测试数据的影响。实验结果表明，手指、手套对样品的污染会引入C、Na、Si等元素，一次性培养皿对样品的污染会引入Zn元素。污染源对样品的定性、定量分析均造成严重干扰。深入理解制样要求，进行正确规范的操作可有效杜绝污染对测试结果的影响。
【机 构】
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有机电子与信息显示国家重点实验室南京邮电大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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江苏省自然科学基金（BK20200747）； 江苏省高等学校自然科学研究面上项目（20KJB430009）； 南京邮电大学校级科研项目（NY219124）；
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针对在XPS样品制备过程中可能遇到的污染问题，通过XPS测定表面元素分布情况，研究了几种潜在污染源表面的化学组成，及其在特定条件下的污染转移对样品测试数据的影响。实验结果表明，手指、手套对样品的污染会引入C、Na、Si等元素，一次性培养皿对样品的污染会引入Zn元素。污染源对样品的定性、定量分析均造成严重干扰。深入理解制样要求，进行正确规范的操作可有效杜绝污染对测试结果的影响。
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