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为了准确评价化工工艺本质安全，通过分析国内外化工工艺本质安全的相关文献资料，选取可燃性、爆炸性、毒性、反应性、工艺温度、工艺压力和存储量等7个指标作为化工工艺本质安全评价指标。采用物元可拓理论和熵权法建立了化工工艺本质安全熵权物元可拓评价模型，并应用该模型对甲基丙烯酸甲酯（MMA）的3条工艺路线进行分析，结果与PIIS、ISI以及模糊综合评价等方法所得结果相吻合，表明该方法适用于化工工艺本质安全评价。