【摘 要】
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该文采用厚度积分平均的浅水模型和有限元法,得到压电微流体泵液体-硅振动片动力耦合振动方程.液-固耦合系统的模态分析给出硅片一阶模态自然频率和振型,以及硅片振幅-频率关
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该文采用厚度积分平均的浅水模型和有限元法,得到压电微流体泵液体-硅振动片动力耦合振动方程.液-固耦合系统的模态分析给出硅片一阶模态自然频率和振型,以及硅片振幅-频率关系曲线.在模态分析基础上,加入压电效应,计算压电-硅片在外加电场作用下的振动响应.文中采用有限体积法计算微流体泵周期流动,得到微泵流量-频率的特征曲线,以及泵腔周期流动规特征.数值结果表明,在给定外加电压时,可以确定一个使微泵流量最大的工作频率.
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