【摘 要】
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在单晶硅中杂质浓度的常规分析工作中,我们采用中子活化分析的双标准比较法。与相对法比较,它省时、省力,只需要二个标准,一次可分析硅中杂质元素30多种。此法与计算机配合,
【机 构】
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清华大学核能技术研究所,清华大学核能技术研究所,清华大学核能技术研究所,清华大学核能技术研究所,清华大学核能技术研究所,清华大学核能技术研究所
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在单晶硅中杂质浓度的常规分析工作中,我们采用中子活化分析的双标准比较法。与相对法比较,它省时、省力,只需要二个标准,一次可分析硅中杂质元素30多种。此法与计算机配合,大大加快了常规分析工作的速度。它也适用于其他多元素样品的分析。
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