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介绍了硅各向异性腐蚀的含义、特点、用途以及常用的腐蚀剂等基本要素;着重论述了试图解释硅各向异性腐蚀行为的几种典型机理,并在此基础上对各腐蚀机理做了简要分析.
单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展
【摘 要】
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介绍了硅各向异性腐蚀的含义、特点、用途以及常用的腐蚀剂等基本要素;着重论述了试图解释硅各向异性腐蚀行为的几种典型机理,并在此基础上对各腐蚀机理做了简要分析.
【机 构】
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东南大学化学化工系,东南大学MEMS重点实验室
【出 处】
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化工时刊
【发表日期】
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2004年6期
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