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光电行业生产过程所产生的有机挥发物不仅对人体产生危害,也成为影响产品品质的关键问题之一。本文综合论述了洁净间环境VOCs来源、扩散及浓度分布特性、处理工艺等,并结合案例分析了沸石吸附处理环境VOCs工艺中脱附温度和脱附时间对VOCs处理效率和能耗以及对整体运行经济效益的影响。
光电行业洁净间VOCs扩散特性及处理工艺研究
【摘 要】
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光电行业生产过程所产生的有机挥发物不仅对人体产生危害,也成为影响产品品质的关键问题之一。本文综合论述了洁净间环境VOCs来源、扩散及浓度分布特性、处理工艺等,并结合案
【机 构】
：
上海盛剑环境系统科技股份有限公司
【出 处】
：
产业创新研究
【发表日期】
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2020年14期
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