【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法,在Si （100）衬底上制备了3％ Co掺杂CeO2薄膜,研究了不同热处理温度对Ce0.97Co0.03O2薄膜结构和光学性质的影响.X射线衍射（XRD）表明,3％ Co掺杂CeO2薄膜为多晶薄膜,且
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室//物理科学与工程技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（61176010,61172027）
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采用溶胶-凝胶法,在Si （100）衬底上制备了3％ Co掺杂CeO2薄膜,研究了不同热处理温度对Ce0.97Co0.03O2薄膜结构和光学性质的影响.X射线衍射（XRD）表明,3％ Co掺杂CeO2薄膜为多晶薄膜,且未破坏CeO2原有的结构,随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大.椭偏光谱法研究表明,Ce0.97Co0.03O2薄膜的光学常数（折射率n、消光系数k）随着退火温度增加而增大,光学带隙Eg随退火温度增加而减小,这是薄膜结构随退火温度增加发生变化所致.
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