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一、概述二、主要电子信息材料国内外现状及发展趋势1.微电子、光电子材料(1)硅基材料多晶硅和硅单晶;SOI材料.硅锗(SiGe/Si)材料.
电子信息材料发展现状及展望
【摘 要】
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一、概述二、主要电子信息材料国内外现状及发展趋势1.微电子、光电子材料(1)硅基材料多晶硅和硅单晶;SOI材料.硅锗(SiGe/Si)材料.
【机 构】
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中国电子材料行业协会副秘书长
【出 处】
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中国创业投资与高科技
【发表日期】
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2004年6期
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