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激光矢量分步对角线法是根据沿每个轴方向测量到的数据仅仅是由于沿该轴方向运动独立产生的,这样就可以将所测量到的误差数据分离为沿三个轴方向运动独立产生的,从而达到误差分离的目的。并且通过测量可获得除旋转误差(旋转误差较小,一般可忽略)的其他12项机床元素误差,包括3个定位误差、6个直线度误差和3个垂直度误差。